LSI技術入門(旧公開教材)
半導体の性質とトランジスタの動作、CMOS回路とレイア ウト設計法、LSI製造プロセスの基礎、そして先端デバイス技術の成り立ちまで、LSI技術の全体像をコンピュータシミュレーションやクリーンルーム内で 行われる実際のプロセス映像をまじえながら、わかりやすく解説します。
- 情報の電子処理とLSI
- 論理回路におけるトランジスタの役割
- 半導体の性質
- MOSFET(1):動作原理
- MOSFET(2):シミュレーションによる動作の理解
- MOSFETを使ったディジタル論理回路の基礎
- LSIプロセス技術の基礎 (1):フォトリソグラフィ-
- LSIプロセス技術の基礎 (2):プロセス要素技術
- LSIプロセス技術の基礎 (3):CMOSプロセス
- LSIデバイス先端技術の成り立ち