LSI技術入門(旧公開教材)

「LSI技術入門」
(本ビデオは2001年ごろに作成されたもので、未完成の部分あります。)

 半導体の性質とトランジスタの動作、CMOS回路とレイア ウト設計法、LSI製造プロセスの基礎、そして先端デバイス技術の成り立ちまで、LSI技術の全体像をコンピュータシミュレーションやクリーンルーム内で 行われる実際のプロセス映像をまじえながら、わかりやすく解説します。

  1. 情報の電子処理とLSI
  2. 論理回路におけるトランジスタの役割
  3. 半導体の性質
  4. MOSFET(1):動作原理
  5. MOSFET(2):シミュレーションによる動作の理解
  6. MOSFETを使ったディジタル論理回路の基礎
  7. LSIプロセス技術の基礎 (1):フォトリソグラフィ-
  8. LSIプロセス技術の基礎 (2):プロセス要素技術
  9. LSIプロセス技術の基礎 (3):CMOSプロセス
  10. LSIデバイス先端技術の成り立ち